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Capteur Bypass CMOS

La mesure est faite directement dans le canal de dérivation.

Un élément laminaire de débit dans le canal principal produit une légère chute de pression, qui conduit une petite proportion de débit dans le canal de dérivation. Le capteur qui y est localisé mesure le débit massique directement en mesurant le différentiel de température. La mesure dans ce cas est faite dans un canal spécialement formé pour l'écoulement dont les parois contiennent une puce de silicone recouverte par une membrane. En utilisant la technologie du  CMOSens, une résistance chauffante est reliée cette membrane avec deux capteurs de température en amont et en aval. Si la résistance chauffante est alimentée avec une tension constante, la différence de tension des capteurs de température est une mesure de débit massique du gaz traversant le canal d'écoulement.

Diagramme de fonction du capteur de dérivation dans la technologie  CMOSens (Coupe du canal de dérivation)