Type 8710 - Régulateur de débit (MFC) pour gaz

Description du Type

Le type 8710 régule le débit massique des gaz par l'intermédiaire d'un capteur qui n'est pas en contact avec le gaz lui-même. La valeur mesurée par le capteur (voir descriptif page 2) est comparée par le régulateur électronique numérique avec la valeur de consigne suivant le signal; si une différence de contrôle est présente, la valeur régulée à la sortie de l'électrovanne proportionnelle sera modifiée en utilisant un algorithme de régulation PI. De cette manière, le débit massique peut être maintenu à une valeur fixe ou peut être suivi d'un profil prédéfini, indépendamment des variations de pression ou autre changement dans le système. Le type 8710 peut être étalonné pour deux gaz différents, l'utilsateur ayant la possibilité de commuter d'un gaz à l'autre. L'élément de régulation, l'électrovanne proportionnelle avec guidage sans frottement garantie une caractéristique largement linéaire ainsi qu'une réponse de haute sensibilité. Les domaines d'applications types sont le dosage du gaz ou plutôt la production de mélange de gaz dans : Traitement thermique, Traitement de surface, Environnement, Le revêtement de surface et La technologie des piles à combustibles